一、掃描/透射電子顯微鏡之透射電子顯微鏡的基本結構
 

　　1.真空系統：電子的體積很小，因此在空氣中就好行進，就好像一個人在人群中穿梭，速度很慢。因此，要保持電子顯微鏡鏡筒內的真空度。
 

　　2.電子槍：電子槍是電子顯微鏡的照明光源，主要由燈絲陰極和陽極組成，中間有一個韋氏圓筒(控制電子束的形狀和發射強度)。燈絲經過加熱以后可以發出大量的熱電子，熱電子在高壓電廠的作用下，朝陽極加速運動。
 

　　3.電磁透鏡：電磁透鏡能夠控制電子的軌道，改變電子束的方向。它的作用類似于普通光學顯微鏡中的玻璃透鏡，只不過它改變的是光線的運動方向。
 

　　4.聚光鏡主要作用是將電子匯集到樣品，控制照明電子束斑的大小。第一聚光鏡是強透鏡，將電子束的直徑縮小。第二聚光聚光鏡是弱透鏡，控制照明的亮度、照明角孔徑、照明斑大小。物鏡將電子像放大，中間鏡將物鏡形成的一級放大像進一步放大，透射到投影鏡上。最后由投影鏡透射到熒光屏上成像。
 

　　5.照相系統：投影鏡的下面的是像的觀察和記錄系統。
 

　　二、掃描/透射電子顯微鏡之掃描電子顯微鏡的基本結構
 

　　掃描電子顯微鏡同樣包括電子槍(包括陰陽極)、聚光鏡(一級聚光鏡、二級聚光鏡)、掃描線圈、物鏡、電子檢測器(后散射電子檢測器、X射線檢測器、次級電子檢測器)。它與透射電子顯微鏡的最大的區別在于：聚光鏡和物鏡之間存在偏轉線圈，它的主要作用是使得電子束在樣品上快速掃描。樣品分子中激發出來的二次電子數量與樣品材料的性質、表面的高低、凹凸有關。在物鏡的下方存在二次電子的檢測器，將二次的電子捕獲之后經過信號處理形成圖像。
 

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